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Diâmetro da sonda, metalização da amostra, filamento de tungstênio e vácuo de 10^-4Pa.

Diâmetro da sonda, metalização da amostra, voltagem de aceleração e vácuo em torno de 10^-4Pa

Filamento de tungstênio, diâmetro da sonda, voltagem de aceleração e corrente de elétrons

Controle de astigmatismo, diâmetro da sonda, filamento de LaB₆ e convergência do feixe de elétrons

Diâmetro da sonda, corrente de elétrons, convergência da sonda de elétrons e voltagem de aceleração