A caracterização e a análise de propriedades elétricas e ópt...
A microscopia de varredura capacitiva (SCM), apesar de sua grande sensibilidade e resolução espacial, é pouco utilizada na caracterização de dispositivos e circuitos VLSI devido ao seu caráter destrutivo.
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A microscopia de varredura capacitiva (SCM) não apresenta caráter destrutivo.
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