Durante a varredura em um MEV, alguns danos podem ser causad...

a irradiação com o feixe de elétrons sobre a amostra resulta na perda de energia do feixe na forma de calor.

ocorre principalmente pelo mau posicionamento do espécime analisado no estágio da amostra.

é frequente em amostras metálicas, que constantemente derretem com a elevada energia do feixe de elétrons.

Pode ser minimizado com a diminuição da distância de trabalho (work distance - WD).

Pode ser minimizado com a diminuição do diâmetro da sonda de elétrons (spot size).