As fontes de elétrons tipo FEG (Field Emission Gun), de tungstênio (W) e de
hexaboreto de lantânio (LaB6), operam com exigência de vácuos diferentes. Representam o vácuo
de trabalho (Pa) desses filamentos:
Os microscópios eletrônicos apresentam sistemas de bombeamento elaborados
para garantir que o microscópio funcione sob alto vácuo (10-
4 Pa). O alto vácuo permite